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產(chǎn)品中心專用儀器儀表DP-RTS-4四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀（接電腦）
四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀（接電腦）
產(chǎn)品簡介
product
產(chǎn)品分類四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀（接電腦） 型號：DP-RTS-4（SDY-4替代）
DP-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
DP-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
參數(shù)：
| 測量范圍 | 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）； 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴展）； 電導率：0.005～1000 s/cm； 電阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）； |
| 恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本標 | 間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓（總力）； |
| 四探針探頭應用參數(shù) | （見探頭附帶的合格證） |
| 模擬電阻測量相對誤差 （ 按JJG508-87行） | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整機測量zui大相對誤差 | （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% |
| 整機測量標準不確定度 | ≤5% |
| 計算機通訊接口 | 并口 |
| 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強光直射； |
2.
煙氣綜合分析儀/煙氣綜合測試儀/煙氣綜合檢測儀 型號：DP-3022型
| 煙氣綜合分析儀適用范圍： 本儀器應用定電位電解法定性定量測定有害氣體。供環(huán)保、衛(wèi)生、勞動、安監(jiān)、軍事、科研、教育等用于各種鍋爐、爐窯煙氣的排放濃度/總量及設備脫硫效果的測定。執(zhí)行標準： JJG 968-2002 《煙氣分析儀》 煙氣綜合分析儀特點： OLED 顯示屏，適宜低照度/低溫下作 符合標的自動加熱/冷凝煙氣預處理器 傳感器溫度/線性補償，無吸附氣路管道 自動修正溫度/壓力，標況數(shù)據(jù)直讀 采樣數(shù)據(jù)自動存儲打印、微機通信 煙氣恒流抽氣，使測定值更穩(wěn)定 機內(nèi)配置七組份氣體接口，現(xiàn)場更換傳感器免標定 體積小，重量輕，攜帶方便 設置參數(shù)自動記憶 的模具成型藝 軟件參數(shù)標定 交直流兩用 用戶密碼保護 煙氣綜合分析儀主要標： 主要參數(shù)參數(shù)范圍 分辨率 準確度 煙氣溫度：（0～500）℃ 可擴展1℃ 優(yōu)于±3.0℃ 流 速：（5～45）m/s 0.1m/s 優(yōu)于±5.0% 煙氣靜壓：（-30～+30）kPa 0.01kPa 優(yōu)于±4.0% 煙氣動壓：（0～2000）Pa 1 Pa 優(yōu)于±2.0% O2 （可選） （0～25/30*）% 0.1% 示值誤差：優(yōu)于±5.0%； SO2（可選）（0～5700/14000*）mg/m3 1mg/m3 重 復性：≤2.0%； NO （可選）（0～1300/6700*）mg/m3 1mg/m3 響應時間：≤90s； NO2（可選）（0～200/2000*）mg/m3 1mg/m3 穩(wěn)定性：1小時內(nèi)示值變化≤5.0% H2S（可選）（0～300/1500*）mg/m3 1mg/m3 CO （可選）（0～5000/25000*）mg/m3 1mg/m3 CO2 （0～5）% 0.01% 外型尺寸：（長290×寬260×110）mm 電 源：AC220V±10%，50Hz,內(nèi)置充電電池 整機重量：約 3.0 kg 耗：<100W |
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北京亞歐德鵬科有限公司
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